笔趣阁 > 都市小说 > 重生的我只想当学霸 > 第811章 光刻工厂试验成功,颠覆性的技术再现
    2019年,1月15日。


    唐都市半导体材料产业园。


    唐都市这两年来,已经开发了诸多的产业园。


    半导体产业园,玄武电池产业园等等,这些产业园的出现都是和银河科技有着极大的关系。


    可以说如果没有银河科技,就不会有这些产业园的出现。


    并且,这些产业园也是真的有技术,有投资,有产业,而不是其他城市,盖几座楼,修几条路,就对外说这是产业园。


    这个产业园区平时很低调,低调到很多人都不知道这个产业园里面,有着一个超级大国重器。


    这个超级大国重器就是光刻工厂。


    在光刻工厂技术被验证具备可实现性的时候,上面就在最短的时间,给银河科技拨了一块500亩的地,来盖光刻工厂。


    这块工业用地,完全是免费的。


    不仅如此,还给银河科技拨了十个亿的建设资金,作为奖励。


    并且,还联系了官方建设团队,把光刻工厂的建设当成了政治任务传了下去。


    如此一来,接下来的事情就很简单了。


    银河科技只需要给出需求和技术,以及出钱,剩下的全交给官方就行了。


    官方出手,速度自然是不同凡响的。


    全方位的保障,让建设速度就像是按下了加速键一样,所以,这么大的一个超级高科技工厂,就在短短的时间内完成了建设,并且进入了试投产。


    是的,今天就是光刻工厂要进行试投产的日子。


    一大早,整个产业园就已经被穿着西服的精壮青年给安保了起来。


    唐都市的领导,秦省的领导,以及来自京城的领导。


    还有一支来自总台的记者团队,悄然来到了产业园。


    光刻工厂控制中心。


    能够出现在这里的人并不多。


    唐都市大总管吴青松、秦省二总管段证、秦省科技厅总管、京城工信部副总管以及科技部高新司司长等人。


    光刻工厂的负责人,则是王东来专门挖来的高级专家梁松。


    在原时空,中心正是有了梁松的加入,才在300天内就攻克了14纳米工艺技术的难关,并将中心国际的工艺良品率提升到95%。


    这个能力,不可谓不强大。


    但就是这么一个顶尖人材,居然在后面,因为企业内部争权夺利,被赶了出去。


    这简直就像是一个黑色幽默。


    不过,这一时空,王东来就没有给中心国际这个机会了。


    在梁松刚脱离竞业限制期之后,就立即亲自上门,把此人挖了回来。


    而打动这样的顶尖人才,只有金钱是远远不够的。


    但王东来只是用了短短三句话,就打动了梁松,让他坚定内心,选择加入银河科技半导体。


    现在,站在指挥中心的梁松,神情之中藏着说不出的激动和亢奋。


    如果今天的光刻工厂试投产完成的话,所代表的意义就太重大了。


    控制中心的灯光明亮无比,巨大的环形屏幕被分割成二十多个窗口,最中间的大屏幕上有这一个极为醒目的倒计时。


    距离启动还有三十分钟!


    刘总管站在屏幕前面,手指轻轻地敲在了台面,发出轻微的咚咚声。


    “梁博士,昨晚最后一次联调,双工作平台同步误差控制在多少?”


    能够出现在这里,刘总管自然是懂一点技术的。


    真要是一点都不懂的话,下去视察工作,被人骗了都不知道。


    梁孟松作为负责人,下意识地看了一眼王东来,才出声说道:“报告领导,同步误差≤2nm,达到设计指标!”


    声音带着一丝沙哑,若是细看的话,就能看到梁松的眼球上的红色血丝。


    这大半年来,梁松完全是吃住在了这里。


    如果说别人是996上班的话,那么梁松就是007了。


    在光刻工厂上,他投入的精力是最大的。


    不知道熬了多少个通宵,加了多少班。


    要不是王东来专门给梁松配了一支医疗团队,来保证他的身体健康,恐怕早就熬垮了。


    可就算是这样,他脸上的疲惫之色依然极为明显。


    二总管拍了拍梁松的肩膀,鼓励着说道:“省上一直都很关注这里,到时候会为你们请功的,你们是全省半导体产业的功臣。”


    吴青山也跟着表态说道:“梁博士,不要紧张,相信王院士的实力,也要相信你们的能力。”


    梁松点了点头,深吸一口气,强行压下心里的激动。


    而王东来在一旁看着,神情之中透露出一股强大的自信。


    光刻工厂的技术路线,如果按照原时空发展,恐怕几十年内都不可能会实现。


    但是,在这个时空,有了他的出手,情况就不同了。


    光刻工厂的核心技术,其实说穿了,就是靠着娲在控制。


    也就是说,光刻工厂是以现在的技术水平根本无法复现的。


    只要王东来愿意,随时都可以撤走娲的控制,从而让光刻工厂失败。


    不仅仅是光刻工厂,就连玄武电池也是类似的手段。


    狡兔死,走狗烹,飞鸟尽,良弓藏。


    这句话,王东来还是知道的。


    时间很快过去,就来到了九点钟。


    控制中心顿时响起了清晰的指令声音:“各单位注意,光刻工序启动倒计时开始。”


    “十!”


    “九!”


    “八!”


    “……”


    所有人都下意识地屏住呼吸,目光死死地盯着面前的屏幕。


    “激光光源准备!”


    “投影物镜聚焦完成!”


    “曝光开始!”


    随着一个个命令下达,整个工厂都陷入了一种极为严肃而又认真的氛围之中。


    光刻技术作为高科技中的高科技,技术含量是极高的。


    所以,也就代表着能够出现在这里的工人,文化水平都不可能太低。


    最低最低也得是个重本才行。


    像是硕士,博士更是一大片。


    尤其这可是全球唯一的光刻工厂技术,具备全球唯一性,更是不知道吸引力多少学者专家的目光。


    不少人连工资都不想要,甚至还愿意倒贴钱进来,为的就是能够近距离接触这个技术。


    这在学术界,可是具备极大的学术价值。


    所以,外人都能够想明白的事情,在这里工作的众多员工也很清楚。


    此刻毫无疑问就是决定他们命运的关键时刻。


    只要光刻工厂成功了,那么他们就能伴随着这个成功,在事业上取得新的成就。


    可要是失败,一切休提!


    从指挥中心的屏幕上,可以看到每个流程的画面。


    这里毕竟是光刻工厂,而不是芯片生产流程,不会从一堆沙子变成芯片开始。


    就只见到机械臂把一片12英寸的硅片,缓缓送到固定位置,在这个硅片上所涂抹的光刻胶,正是银河科技自研出来的产品。


    包括EDA设计软件,再到掩膜台,这些核心软件以及设备都是银河科技自主研发,突破西方技术完成的。


    众人看着屏幕里的硅片,就像是在看稀世珍宝一样,充满了期待。


    当晶圆精准对接至双工作台的瞬间,屏幕上的对位误差数字立刻就跳出了一个精准数字。


    0.05μm!


    这个数字是什么意思呢,相当于头发丝直径的千分之一!


    很快,光斑在晶圆表面上开始移动,如同用纳米级的刻刀在绘制电路图案。


    小小的一枚芯片,看上去可能还没有小拇指指甲大,但是放到高精显微镜下,就能看到密密麻麻的电路图案。


    只有看到这个场景,才会知道芯片上所存在的技术是何等强大。


    设备运行发出的低鸣声,在安静无比的指挥大厅里面变得刺耳起来。


    只不过,在场的众人都没有嫌弃这个声音,甚至于连呼吸都不敢大声,害怕会有影响。


    第一片被曝光完成的晶圆被送到显影机,光刻胶经显影液处理后,电路图案逐渐显影。


    当晶圆从设备中送出时,测试主管快步上前,用机械臂将其转移至电子显微镜下。


    屏幕上,28nm的晶体管阵列整齐排列,线条边缘光滑如镜,没有一丝毛刺。


    “线宽均匀度98.7%!”测试主管的声音带着颤抖,“符合设计标准!”


    控制中心里响起第一阵压抑的掌声,随即又迅速安静起来。


    因为真正的“大考”还在后面,接下来的蚀刻、离子注入、金属沉积……还有100多道工序,任何一步失误都会让前面的努力功亏一篑。


    时间一分一秒过去,晶圆在不同车间流转,控制中心的屏幕上实时更新着每道工序的参数:蚀刻深度误差≤2%,离子掺杂浓度均匀性≥99%,金属布线良率95%……


    数据曲线像一条绷紧的弦,时高时低,却始终在合格线以上徘徊。


    因为整个流程不是一两个小时就能完成的,所以领导们是专门抽出了一天的时间,留在这里,要亲眼看到光刻工厂的正式投产的情况。


    如果出现问题,就要立即找出问题,并解决。


    如果成功的话,那就立刻汇报上去,这将会成为又一个领先全球的技术,极大地增强我们的话语权和竞争力。


    到了中午的时候,是专门送来的盒饭,而不是专门去外面吃。


    就连休息,也是临时征用了工厂的员工休息区。


    “下午的化学机械抛光(CMP)是关键,表面平整度要控制在0.5nm以内。”


    “别忘了检测金属互联层的接触电阻,这直接影响芯片性能。”


    梁松在给下面的流程组长一边讲着技术核心要点,一边回顾着中午的表现,进行复盘。


    这个时候,王东来走了过来。


    当王东来出现的时候,在场的众人都站了起来。


    这倒并不是因为王东来老板的身份,而是他们对于王东来所掌握的技术的钦佩。


    光刻工厂的技术核心,完全就是王东来一手完成突破的。


    到了现在为止,还有很多技术是他们知其然,不知其所以然的。


    看似他们是光刻工厂的技术管理人员,实际上就和按开关的猴子没有多大区别。


    说的夸张一点,如果王东来愿意写出一个详细至极的操作手册,那么他们这些人都可以离职了。


    随便挑一些记性好,服从性好的员工,背熟操作手册,就按照上面的规定去做,也不见得会比他们做的差。


    “老板!”


    众人齐声喊道,语气之中有崇拜,有敬畏,还有一丝羡慕。


    “好了,大家都坐。”


    “今天对于集团,对于你们来说,都是很重要的一天。”


    “是骡子是马,拉出来溜溜,光刻工厂前前后后也投入了好几百个亿,成功了,原地翻倍。”


    “在我这里,没有失败!”


    “早上大家的表现还行,还有很大的进步空间,考虑到这是第一次,我能够理解。”


    “下午的时候,你们放平心态,不要考虑太多,就按照平时做的那样去做。”


    “技术是不会骗人的,机器是稳定的,所以成功就是成功。”


    “给你们说一个消息,所有员工,这个月多发一个月工资作为辛苦费,和项目成功奖励不冲突。”


    王东来当老板,自然是懂得该如何激励员工做事。


    画大饼,一时有用,信誉破产之后,只能起到反效果。


    最有效的就是发钱,咔咔发钱就行。


    就算是对钱不怎么看重的人,也不会拒绝老板发钱,做起事来,也会更加上心。


    果不其然,在王东来宣布了这个消息之后,众人的神情立即就变得激动兴奋起来。


    激励完众人之后,王东来便离开,众人也都很快回到了各自工作岗位上。


    下午三点,晶圆进入最后一道工序,晶圆测试。


    当探针卡接触到芯片Pad点时,控制中心的空气仿佛凝固了。


    屏幕上跳出第一组测试数据:逻辑功能测试:通过


    漏电率:0.01μA/mm


    最大工作频率:3.2GHz


    良率:96.7%


    “良品率96.7%!”


    看到这个测试数据,测试工程师立即一脸激动地站了起来,声音都因为太过激动而有些破音了。


    这一刻,控制中心的安静被瞬间打破。


    先是一声压抑不住的欢呼,随即像星火燎原般扩散——年轻的工程师们互相拥抱,有人抹着眼泪笑,有人举起写满参数的笔记本挥舞。


    就连各位领导的脸上也不由地露出了如释重负的笑意。


    光刻工厂所承载的意义太过巨大了。


    不要看只有这几位领导出现在这里,更多的领导都是在暗暗地关注着这里的消息。


    现在,这个测试数据一出,虽然还只是第一批,可是已经足够让人放心了。


    就算是后面的产品数据不尽如人意,那也只是工艺优化的问题,而不是光刻工厂的技术路线问题。


    刘总管快步走到梁松的面前,紧紧地握住梁松的手说道:“梁博士,你们创造了奇迹啊!”


    “今天的成绩代表着我们已经打破了西方光刻机的领先地位,我们重新开辟出了新的赛道,为半导体行业发展打开了新的领域,意义重大啊!”


    面对刘总管的夸赞,梁松很快就从激动之中清醒过来,下意识地解释道:“领导,我只不过是一个执行者而已,真正提出光刻工厂构思,并完成核心技术突破研发的人是我们老板,他才是功劳最大的。”


    随着梁松这句话说出口,立即就让众人把目光放到了王东来的身上。


    而这个时候,众人这才注意到王东来的异样。


    在所有人都在为这个测试数据而感到高兴的时候,王东来却皱着眉毛,任谁都能看得出来他有些不喜,一时间,倒是让众人生出了兴趣,产生好奇。